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KEYENCE 基恩士 分光干涉式晶片厚度计 SI-F80R 系列
产品编号:SN202511060928448327
产品简述:采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。
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产品介绍
产品特性
即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
可在生产线上进行测量
自动映射整个晶片的厚度分布
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