适用于各种目标物的测量能力
最大扫描区域50 mm见方。凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。只需一台设备,即可同时掌握整体形状和局部形状。
VK-X3000 系列
采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,以及镜面体,透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。
即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。此外,如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。